第二百三十四章:诱饵？请君入瓮(3/4)
论文中用于验证算法效果的测试图案的设计,以及某些仿真结果的边界条件,与他所了解的,ASML和尼康主流量产机型的技术特征,存在一些细微的,但无法忽略的差异。这些差异,暗示着论文作者所使用的光刻系统,在某些关键性能指标上,可能已经达到了一个相当高的水平。
他本能地感觉到,这篇论文的背后,可能隐藏着一些重要的信息。
他没有声张,而是利用IMEC先进的实验设备,和自己的专业知识,对论文中的算法进行了复现和验证,并尝试将其应用于自己所熟悉的曝光条件下。
结果,令他大吃一惊,这种新算法,在特定条件下,效果出奇的好,甚至优于IMEC目前正在评估的一些商业软件。
他越想越觉得不对劲。他决定,将这篇论文,连同自己的复现实验结果和分析报告,发送给自己在宝岛积体电路制造公司,研发部门的一位师兄,请他帮忙看看。
他不知道的是,他的这封邮件,在被发送到宝积电之前,已经被ASML安插在IMEC内部的技术情报人员,截获并复制了一份。
几天后,这份邮件的内容,连同李明辉的分析报告,摆在了ASML的CTO范德文的办公桌上。
范德文仔细阅读了这份报告,脸色变得越来越凝重。他虽然不是计算光刻领域的专家,但多年的技术管理经验,让他能够敏锐地判断出,这份报告的分量。
报告中所描述的算法,如果属实,将意味着那个东方幽灵,在计算光刻这个光刻机核心配套技术领域,也已经取得了足以威胁到,ASML现有优势地位的进展。
他拿起电话,拨通了CEO的内线:“老板,我这边有些情况,需要向您当面汇报。关于那个幽灵的,可能比我们之前想象的,更加麻烦。”
与此同时,在京城,星火基地的计算光刻实验室里,刘欣正盯着屏幕上刚刚完成的,针对0.93数值孔径浸没式光刻系统优化后的朱雀算法仿真结果,满意地点了点头。
她并不知道,她发表在期刊上的那篇论文,已经在万里之外的欧洲,激起了一场意想不到的涟漪。
她更不知道,一场针对她和她的团队的,更加隐蔽和危险的暗箭,正在悄然酝酿。
1998年8月下旬,荷兰埃因霍温,ASML总部,CEO办公室。
窗帘紧闭,室内的光线有些昏暗。ASML的CEO和CTO范德文相对而坐,两人面前的茶几上,摆放着那份关于刘欣论文的分析报告,以及一份由法务部门连夜整理出来的,关于如何利用这篇论文,进行法律层面操作的初步评
估。
“这篇论文,发表在一个影响力尚可,但并非顶尖的国际期刊上。”CEO的声音,在安静的办公室里,显得有些低沉。
“论文的内容,虽然涉及了浸没式光刻的核心配套技术,但并没有直接泄露任何具体的设备参数,和工艺流程。
如果我们直接以此为由,发起专利诉讼或者技术剽窃指控,证据链不够充分,很容易被对方反诉恶意诉讼。”
“但是,”他话锋一转,目光变得锐利:“这篇论文,以及论文的作者Liu Xin,却给了我们一个绝佳的诱饵。”
范德文微微一怔:“诱饵?”
“对,诱饵。”CEO站起身,走到窗边,背对着范德文,望着窗外埃因霍温的街景说道。
“我们不需要直接攻击这篇论文本身。我们可以利用这篇论文,制造一个机会,一个让对方的核心技术专家,主动跳出来的机会。
他转过身,目光中