第二百三十七章:真正的战斗(4/4)
值孔径提出了更高的要求。但现有的镜片材料和镀膜工艺,在满足高数值孔径的同时,对深紫外激光的吸收率会显著上升,导致镜片在工作过程中发热加剧,引起热漂移,影响成像质量。”
“我们尝试了几种新的镜片材料和镀膜方案,但效果都不太理想。要么是吸收率降下来了,但折射率均匀性又出了问题。
要么是折射率均匀性满足了要求,但抗激光损伤阈值又不够高。总之,总是无法同时满足所有指标。”
刘欣接过图纸,仔细端详了片刻。她虽然不是光学设计专家,但长期与光刻系统打交道,对物镜系统的基本原理和关键技术指标,也有着相当深入的了解。
她沉吟了片刻,突然想起了一件事。
“秦师傅,我记得,我们之前与中科院长春光机所,合作开发了一种新型的氟化物光学晶体材料,据说在深紫外波段的透过率和抗激光损伤性能都非常优异。
不知道那种材料,是否有可能应用于我们的物镜系统?”
秦师傅闻言,眼睛顿时一亮:“哦?有这种事?我怎么不知道?”
“那是两三年前的一个预研项目了,当时主要是为了验证材料本身的性能,并没有考虑具体的应用场景。
项目结题后,相关报告就被存档了,可能没有流转到您手上。”刘欣解释道:“我回头让人把那份报告找出来,您看看是否具有可行性。”
“好!太好了!”秦师傅用力一拍大腿,脸上露出了久违的笑容:“如果那种材料真的像你说的那么好,那我们的物镜系统问题,就有救了!小刘,你可是帮了我们大忙了!”
周围的几位骨干,脸上也纷纷露出了振奋的神色。困扰了他们数周之久的一个技术难题,似乎出现了一线解决的曙光。
刘欣微笑着摇了摇头说道:“秦师傅客气了。我们都是为了同一个目标在努力。只要能解决问题,谁发现的并不重要。”
这个小插曲,只是渊基地和星火基地日常工作中,无数个技术攻关场景的一个缩影。
没有豪言壮语,没有惊天动地,只有无数个像秦师傅,和刘欣这样的科研工作者和工程师,在各自的岗位上,默默地贡献着自己的智慧和汗水,一点一点地,将看似不可能的目标,变成触手可及的现实。
而就在他们为了65纳米节点的技术难题,而殚精竭虑时,远在荷兰的ASML总部,一场针对他们的阴谋,也在悄然推进。
范德文CTO的办公桌上,摆放着一份由ASML情报部门提交的,关于拂晓项目核心团队成员的详细背景调查报告。
报告中,刘欣、陈向东、秦卫国等人的教育背景、工作经历,以及家庭情况,都被调查得一清二楚。
范德文的目光,在刘欣的照片上停留了片刻。他想起一个月前,那位在埃因霍温与他侃侃而谈,不卑不亢的龙国女学者。
她给他留下了深刻的印象,聪明、自信、冷静、专业。如果有可能,他真的很希望能够与她,以及她背后的团队,进行真诚的合作。
但他知道,在熔岩计划已经启动的背景下,这种可能性,已经微乎其微了。
商业竞争,有时候就是这么残酷。即使你欣赏你的对手,你也必须全力以赴地去击败他。
他拿起桌上的红笔,在刘欣的名字上,画了一个重重的圆圈。
然后,他拿起另一份文件,开始仔细阅读起来。那是一份关于如何通过第三方中介机构,接触并挖角拂晓项目核心成员的详细行动计划。
